近期，原子能院核技術所利用核輻射探測器研發條件項目設備、設施(簡稱“核輻射探測器研發設施”)，相繼開展了一系列核探測技術重大科研項目研發工作，標志著該設施已具備為重點科研項目提供技術支撐的能力。該設施包含的半導體探測器工藝線，是中核集團半導體探測器制備工藝研究設備、設施最為齊全的工藝線，它的投運進一步提升了我國先進半導體探測器研發的自主創新能力。
核輻射探測器研發設施主要用于硅平面工藝探測器、高純鍺、化合物半導體探測器等先進半導體探測器的研究和制備。其主要工藝設備包括光刻機，低壓化學氣相沉積、氧化擴散、磁控濺射、清洗腐蝕等設備，以及環境試驗和電離輻射試驗設備設施。目前，依托核輻射探測器研發設施，國家重點研發計劃項目“全自動高純鍺能譜儀的研制”開展了高純鍺探測器鋰蒸發擴散、表面處理工藝等實驗研究;中子探測項目完成了高溫電離室溫度沖擊、振動等環境試驗和中子響應測試等試驗。
半導體探測器工藝線是核輻射探測器研發設施最主要的工藝線之一，經過多次調試及試驗，該工藝線于2019年投入運行，并圍繞重點科研工作逐步開展了半導體探測器清洗腐蝕、光刻、鍍膜、片上薄膜質量和電學性能測試、劃片封裝等工藝研究，以及整機線性溫度沖擊實驗、振動等環境實驗。由于半導體探測器在國民經濟建設、核物理實驗以及輻射環境測量等方面具有廣泛用途，隨著核輻射探測器研發設施投入運行，將使我國具備高純鍺、硅平面工藝探測器等先進半導體探測器批量化的制造能力，從而為核工業持續發展奠定堅實基礎。
免責聲明：本網轉載自合作媒體、機構或其他網站的信息，登載此文出于傳遞更多信息之目的，并不意味著贊同其觀點或證實其內容的真實性。本網所有信息僅供參考，不做交易和服務的根據。本網內容如有侵權或其它問題請及時告之，本網將及時修改或刪除。凡以任何方式登錄本網站或直接、間接使用本網站資料者，視為自愿接受本網站聲明的約束。
